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钼钽靶材
钼钽靶材是一种用于物理研究和半导体制造等领域的重要材料。
钼(Mo):钼是一种过渡金属元素,具有优异的高温性能和化学稳定性。 在钼钽靶材中,钼通常是主要的组成元素之一。
钽(Ta):钽是一种稀有金属元素,具有极高的熔点和化学稳定性,是钼钽靶材的另一重要组成元素。
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钼钽靶材是一种用于物理研究和半导体制造等领域的重要材料。
钼(Mo):钼是一种过渡金属元素,具有优异的高温性能和化学稳定性。 在钼钽靶材中,钼通常是主要的组成元素之一。
钽(Ta):钽是一种稀有金属元素,具有极高的熔点和化学稳定性,是钼钽靶材的另一重要组成元素。
物理性能
高熔点:钼和钽都具有极高的熔点,分别为2623°C和3017°C,因此钼钽靶材具有出色的耐高温性能。
高密度:钼和钽都具有较高的密度,钼的密度约为10.2克/立方厘米,钽的密度约为16.7克/立方厘米,因此钼钽靶材具有较高的质量吸收能力。
应用领域
物理研究:钼钽靶材常用于物理研究领域,如核物理实验、粒子加速器、等离子体物理等,用于产生高能量的离子束或电子束。
半导体制造:在半导体制造工艺中,钼钽靶材常用于物理气相沉积(PVD)或磁控溅射(sputtering)等过程中,用于沉积或镀覆薄膜,制备电子器件、光学器件或涂层材料。
制备方法
粉末冶金法:钼和钽粉末按一定比例混合后,经过压制、烧结等工艺制备成块状或片状的钼钽靶材。
熔炼法:钼和钽可以通过真空熔炼或等离子弧熔炼等方法制备成块状或片状的钼钽靶材。
特殊合金
有时,为了改善靶材的特性,钼钽靶材可能会添加其他元素,如铬(Cr)、铌(Nb)等,以调节材料的性能和应用范围。
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